二手 SCHMID Blue 1100 #9006876 待售
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ID: 9006876
晶圆大小: 6"
优质的: 2010
PECVD System
Direct plasma source
370-440 kHz
88 wafer per tray, 1100 wafer per hr (based on 6" wafer)
N2 SiH4, NH3 gases
Vacuum supply and gas supply system included
Abatement excluded
PLC controlled, including recipe management
Currently installed
2010 vintage.
SCHMID Blue 1100是一种化学蚀刻和灰化机,用于半导体制造。对于从4英寸晶圆、金属和MEMS到先进的3-D模式的基板,它是一种高效、可靠和经济高效的解决方桉。该机配备了一种独特的技术,称为"智能芯片匹配",允许芯片或设备之间完美搭配,实现更高的吞吐量和更好的收益率。Blue 1100采用全钢框架,旨在实现最佳流量和最大性能。框架即使在高温操作中也能确保稳定的配置,而且还设计用于易于维护。该室设计具有均匀蚀刻效果,并已获准进行洁净室操作,符合IEC 61672-3标准。它也经过测试,经受温度范围从-10°C到+54°C的调制。该机由先进的智能处理系统提供动力,设计用于高速处理,同时保持优异的产量。它装有PID温度控制器,使您能够在更高的温度下运行,并最大程度地减少温度波动。它还具有各种输入/输出卡、热打印机、用于快速热循环的三向阀以及用于精密蚀刻和灰化的其他专用组件。该机具有先进的冷却系统,允许最佳工艺温度。此外,冷却水设计贯穿整个腔室,确保基板在长工期和高温下保持稳定。SCHMID Blue 1100还具有用于优化周期、提高精度和安全性的智能软件。它还可以远程操作,提供生产灵活性,用户可以快速从一种类型的产品切换到另一种类型的产品。总体而言,Blue 1100是半导体生产的理想蚀刻器和asher。它功能丰富、坚固耐用,专为洁净室操作而设计。它可以加工产量高得多、工艺可变少的大型基材晶片,从而实现高效、经济高效的半导体生产。
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