二手 SCHMID Combi Line #9237970 待售

SCHMID Combi Line是一种多功能蚀刻器/asher，设计用于对晶片进行等离子体蚀刻和灰化，而无需人工干预。该设备由一个单一的模块化单元组成，结合了蚀刻室、工艺气线、真空设备和原位等离子体源。Combi Line的蚀刻室设有内部电极和带电粒子束，在高温下产生无偏电离气体，最大限度地减少蚀刻损伤，改善工艺控制。可调蚀刻工艺参数，如压力和工艺气流，由可编程逻辑控制器（PLC）控制。该单元设计为最多可同时处理六个晶片，并且与所有标准晶片尺寸兼容。晶圆由附着在上盘上的垫子加热，可以精确的手动调节温度。蚀刻室中央的原位等离子体源是可移动的，可针对不同的蚀刻配方进行编程。SCHMID Combi Line中的异步压力调节系统（APRS）可以自动调整以控制蚀刻室内的压力。它允许设备在不使用外部泵的情况下进行蚀刻,从而降低了成本和时间。该单元的旋转ashing单元具有在ashing过程中均匀加热晶片的优点。这样可以减少热预算,防止热扩散对敏感层或结构造成损坏。设备的模块化设计便于快速维护和更换。整个机器建立在一个紧凑的平台上，利用单一气闸快速转移晶片。PLC配备了图形用户界面（GUI）,它提供了一个易于使用的界面,用于输入和运行蚀刻和灰化配方以及监视工具的状态。总体而言,Combi Line在单个单元中提供了扩展的蚀刻和灰化功能。这些设备提供了更高的吞吐量、更好的过程控制和精度,以及更低的拥有成本。