二手 SCHMID Infinity Line #293605245 待售

SCHMID Infinity Line etcher/asher是为各种工业材料的高级加工而设计的设备。该系统可用于广泛的应用，从简单的蚀刻和灰化过程到更复杂的表面微结构操作。无限线单元由两个主要模块组成；单个晶圆蚀刻/灰化处理器和可选的热处理单元。SCHMID Infinity Line 蚀刻/ashing处理器是一种紧凑设计的机器，具有用户友好的图形用户界面（GUI）和简单的过程控制功能，以确保最大程度的重复性和可重复性。该工具包括一个快速扫描蚀刻/灰室以及一个单独安装的可编程、三轴（X、Y和Ω控制器），样品定位精度小于1 μ m。此资产使用户能够精确控制蚀刻/灰化过程参数,例如蚀刻/灰化机制的温度和功率。除了单晶片应用外，Infinity Line在批处理模式下还能处理25个晶片。内置内存存储使用户能够存储和重新运行配方以实现快速且无故障的处理。SCHMID Infinity Line由频率控制的驱动电动机提供动力，它允许过程速度控制和精度。此外,还可以使用调频（FM）测量来实时监测过程进展和检测像差。可选的热处理单元连接到Infinity Line蚀刻/灰化处理器,允许用户对基板进行预处理和后处理。该型号配备了非接触式、非热力计，以确保精确的温度控制和均匀的热处理。该单元还允许用户使用几种热处理气体，如Ar和N2，将热量精确传递到基板上。SCHMID Infinity Line 蚀刻器/asher的整体设计功能强大，能够处理广泛的材料，并进行高度精确的蚀刻和灰化操作。该设备确保了可重复的蚀刻/灰化结果,并为热处理提供了最佳的温度管理。