二手 SCHMID InfinityLine C+ #293774316 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 293774316
Substrate cleaning system
Substrate thickness: 025 mm-3.0 mm
Substrate dimension:
Minimum: 12"x24" (457x610 mm)
Maximum: 24"x24" (610x610 mm)
Maximum throughput: 2 Panels/min
Rotation speed: 200 RPM
Pressure: 4 Bars
Process temperature: 60°C.
SCHMID InfinityLine C+是由领先的电子、光伏和数据存储行业设备和系统制造商SCHMID Group设计的尖端蚀刻器/asher。这款先进的设备集成了卓越的技术和创新功能,为广泛的应用提供高精度的蚀刻和灰化工艺。InfinityLine C+专为半导体工业而开发,在半导体工业中,精确可靠的蚀刻和灰化对于制造高性能微电子器件至关重要。该系统为蚀刻和清洁基板提供了卓越的精度和效率,使其成为生产集成电路、MEMS设备、传感器和其他微电子元件的理想解决方桉。SCHMID InfinityLine C+的一个关键特点是它的多用途设计,允许湿蚀刻和等离子体灰化过程。这种双重功能使用户能够使用单个单元执行各种蚀刻和清洁任务,从而简化生产过程并提高生产效率。该机配备了先进的过程控制能力,包括实时监控和调整过程参数,以确保一致可靠的结果。InfinityLine C+利用最先进的技术提供高重复性和均匀性的精密蚀刻和灰化工艺。该工具配有先进的等离子体源和气体输送系统,为蚀刻和清洁基板创造受控环境。等离子体源产生高反应性物种,可以选择性地从基质表面去除材料,而气体输送系统则确保整个过程中等离子体环境稳定均匀。此外,SCHMID InfinityLine C+具有灵活的腔室设计,能够处理各种基板尺寸和形状。资产可以容纳一定尺寸的基板,确保与半导体行业常用的各种晶圆尺寸兼容。腔室设计还可以方便地装载和卸载基板,最大限度地减少停机时间和最大限度地提高吞吐量。InfinityLine C+配备了一个直观的用户界面,可以方便地操作和控制模型。设备软件为设置流程配方、监控流程参数、分析流程数据提供了用户友好的界面。软件还包括用于故障排除和维护的高级诊断工具,可确保最佳系统性能和正常运行时间。为增强安全性和可靠性,SCHMID InfinityLine C+设计了多种安全功能,包括联锁、气体检测系统和紧急关机机制。这些安全功能有助于防止事故发生,并确保在机组运行过程中对操作员和环境的保护。总体而言,InfinityLine C+是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher机器,为半导体行业的精密高效蚀刻和灰化工艺提供了高级功能。凭借其创新的设计、最先进的技术和用户友好的界面,这款工具为半导体制造商提供了生产性能和可靠性卓越的高品质微电子器件的可靠解决方桉。
还没有评论