二手 SCI AUTOMATION CAM2 #9249239 待售

SCI AUTOMATION CAM2是一种先进的蚀刻/灰化设备,专为快速高质量的微加工而设计,占地面积很小。它具有模块化设计,可根据用户的需求提供灵活性和定制。CAM2包括一个用于化学加工的润湿罩，以及一个用于灰化的实验室。此外，它还能够进行良好控制的无掩码和常规光刻、湿射流和化学蒸气蚀刻（CVE）。SCI AUTOMATION CAM2由直观的十点触控液晶屏幕驱动,具有图形用户界面（GUI）,允许用户轻松交互和控制系统。它具有可从GUI配置的各种流程参数,使用户可以根据所需的规格自定义流程。集成设计减少了外部检测,GUI节省了设置过程参数的时间。湿包包括一个温度控制和加热到所需温度进行蚀刻和灰化的化学储层。蓄水池附着在一个自动液体处理装置上，以便能够以适当的比例准确地输送和溷合化学品。湿袋的其他部件包括一个防止腐蚀的去离子水箱、可回收废物容器、一个安全面板和一个带有紫外线源的曝光室。曝光室也有集成的传感器来监控过程，例如温度和压力。Ashing chamber has a enclused interior that is designed to providing a safe and controlled atmos它有一个排气机来保护工人免受有害物质的伤害，可调节的风扇速度，以及一个温度控制工具来维持理想的温度以达到所需的过程。Ashing chamber中装有一个用于容纳晶片的石英熔饼和一个用于蚀刻和移动晶片的双臂机器人。CAM2还具有自动备件处理、快速样品/基板转换和快速热处理的功能。它还具有温度关闭资产、紧急停止按钮和灭火模型等一系列安全功能。总体而言,SCI AUTOMATION CAM2是一款先进且用户友好的蚀刻/灰化设备,具有集成的设计和强大的安全功能。直观的LCD触摸屏和可定制的流程参数为用户提供了根据其应用程序定制特定流程的灵活性。CAM2具有广泛的功能和可靠的性能,是要求苛刻的微加工工作的理想选择。