二手 SCI AUTOMATION QML #9249237 待售

SCI AUTOMATION QML是一款专门为半导体制造而设计的先进蚀刻/asher设备。它能够进行薄膜光刻和半导体器件制造所需的精密蚀刻和灰化工艺。该系统利用多个蚀刻/ashing头、多个卡盘系统、多功能可编程作业文件等先进技术特性，提高吞吐量。该单元配置了最多四个独立的蚀刻/灰化头,允许同时蚀刻和灰化具有不同掩模模式的多个晶片。每个蚀刻/灰化头的设计都是针对特定客户的蚀刻/灰化需求而专门定制的。这将确保针对所使用的特定半导体工艺优化蚀刻/灰化工艺。多重卡盘系统允许晶片移动，定位准确稳妥，因此可以达到正确的定向和蚀刻深度。此外,可以根据要蚀刻和粉刷的晶片的不同尺寸来调整卡盘系统。多功能可编程作业文件的设计是为了最大限度地提高QML机的效率。这些作业文件用于配置正在执行的进程的参数,包括晶圆大小、蚀刻/灰头、卡盘设置和其他设置。作业文件也可以根据客户的特定需求进行自定义。这使得可以同时蚀刻具有不同掩模模式的多个晶片，从而节省时间和提高效率。总体而言,SCI AUTOMATION QML是一种革命性的蚀刻/灰化工具,它提供了先进的技术功能,可帮助提高吞吐量,并将半导体工艺提升到一个新的水平。有了这项技术,半导体制造商就可以期望在每项工作中都能实现最佳蚀刻和灰化晶片、降低步骤和提高效率。