二手 SEMITOOL Excalibur 2000 #9226634 待售

SEMITOOL Excalibur 2000 蚀刻器/asher是用于化学去除或沉积材料的先进设备。它是一种自动化的半导体、晶圆或模具级工艺，用于制造半导体集成电路（IC）芯片的蚀刻和灰化方法。Excalibur 2000设备在晶圆尺寸和基材类型方面提供了极大的灵活性；可以处理所有类型的半导体晶片，如硅、砷化氙、蓝宝石上的硅和玻璃陶瓷基板。SEMITOOL Excalibur 2000系统常用于半导体复合半导体工艺实验室。蚀刻器/asher包括一个带有应用程序桨的机器人手臂，以均匀和自动地将加工化学品分配给加工室中的晶片。机器人手臂与标准吊舱载具兼容；它还配备了一个同步控制板，可以用来调整机器人的运动次数和每个晶圆的配方。机器人臂还连接到同步控制板，用于过程化学传递，确保化学加工的一致性和准确性。Excalibur 2000单元配备了一个集成的、最先进的Excalibur光学机器，它允许精确监测和控制蚀刻/灰化过程。光学工具包括一个红外扫描仪、一个光学成像仪、一个可选的光刻剂检测头，以及一个具有可变可调光纤资产的准直光学传感器，提供对蚀刻和灰化过程的实时控制。它还提供可调节的参数,例如晶圆上蚀刻特征的大小、位置、厚度和形状。SEMITOOL Excalibur 2000型号还具有先进的多点射频光源,用于具有可调功率和射频波形类型的蚀刻。它还具有高速、高精度成像仪，用于等离子体增强CVD等先进工艺的保护层。最后,Excalibur 2000设备基于一个用户友好的软件平台,该平台允许通过触摸屏控制界面轻松编程和控制蚀刻/灰化过程。配方编号、晶圆尺寸、气流、温度、压力、RIE参数、RF参数、冷却时间等控制参数均可从界面调节。SEMITOOL Excalibur 2000 蚀刻器/asher是一种高效、先进的IC芯片制造工艺工具。它的特点使得精确、准确和一致的蚀刻和灰化过程具有晶圆尺寸和基材类型的最大灵活性。其红外扫描仪和光学成像系统提供了对蚀刻和灰化过程的高级监控，而集成软件平台则允许方便编程和控制。