二手 SEMITOOL Excalibur 2000 #9250097 待售

SEMITOOL Excalibur 2000是半导体行业的一款先进、高性能的蚀刻器和asher。它提供了最高的流程统一性和最低的总体拥有成本。Excalibur 2000拥有先进的自动化工艺控制设备，经过高度优化，可最大限度地减少基板缺陷，减少颗粒污染并确保工艺合规性。它提供了先进的蚀刻能力，能够精确控制屏蔽、蚀刻深度、蚀刻速度和基板的平坦度。它可以蚀刻和沉积干燥和湿的介质，并提供无与伦比的过程可重复性与卓越的精度。SEMITOOL Excalibur 2000配备了动态腔室设计，可在整个基板范围内产生无与伦比的± 1°C/min的热均匀性，确保过程结果一致。它具有内置的过程定义和控制，为高产量、高通量半导体生产提供了灵活性和准确性。为确保结果一致，Excalibur 2000使用了卓越的高纯度加工气体，这些气体可以进行精确的调节和计量，以实现最佳的工艺控制。它具有先进的冷却系统、原位温度和压力传感器，可实时监测，显着减少气体损失。高级流程控制监视和报告工具（如用于RF生成器的生命周期监视器）,使用户能够监视关键参数并快速解决流程问题。集成电源监控单元允许用户持续监控发电机输出功率,并在出现问题时发出警报。SEMITOOL Excalibur 2000旨在为生产商提供可靠的结果、较低的拥有成本和较高的性能。其先进的再循环机监控和清洁工艺室和泵的颗粒堆积和污染。凭借其工艺精确度和效率,Excalibur 2000提供了业界每平方英寸最高的蚀刻和asher工艺步骤吞吐量。