二手 SEMIX / TOK TCA 2600 #9068923 待售

SEMIX/TOK TCA 2600是一种蚀刻/asher设备，设计用于一系列生产线应用。它是一个独立的集成系统,具有自动化和手动控制功能,可对蚀刻和灰化过程进行精确控制和操作。该装置的特点是一个由不锈钢构成的腔室，以及一个气体分配机和一组控制器和阀门，以便对工艺参数进行精确的控制。TOK TCA 2600使用强大的磁控管源产生用于蚀刻和灰化的等离子体。现有若干可编程参数，如气体、压力和温度，以确保产生的等离子体是一致和可靠的。SEMIX TCA 2600还具有一个用户友好的界面,用于控制工具、设置和执行配方以及监控过程。该资产的设计易于集成到生产线中,并支持各种通信协议。软件包包括收集、分析和可视化过程数据以及简化处理配方开发的广泛功能。该工艺室还配备了多种安全功能，如压力监控器、真空互锁和报警模型。它们旨在确保进程安全可靠地运行。此外,TCA 2600还具有若干维护功能,可监控设备是否出现故障或异常。总体而言,SEMIX/TOK TCA 2600是一个蚀刻器/asher系统,它提供可靠、精确的性能以及安全功能和用户友好的界面,便于集成到生产线中。该设备旨在提供一致和准确的结果,使其成为各种生产应用程序的理想选择。