二手 SEMIX / TOK TSE 360 #9068921 待售

SEMIX/TOK TSE 360是一种蚀刻器/asherer，用于将微电子电路转移到晶圆和基板上。它专为晶圆级封装应用而设计。它有一个特定的过程，称为智能Etch™技术，它由化学物质、气体通量和主动反应组成，以提供最佳特征分辨率。这种智能Etch™工艺可以与光刻胶结合使用，也可以单独使用。TOK TSE 360能够处理各种晶圆和基材，从最小的音高"热点"到最大的外围。它设计有多个蚀刻室，允许它在同一操作中处理设备的正面和背面。它配备了一个精密的气体通量模块，为过程提供精确的化学控制。此外,它还具有高级用户界面,允许用户根据需要快速编程和调整蚀刻配方。SEMIX TSE 360具有精确的特性分辨率。其高精度的刀具体系结构确保了大多数特征的复制完全符合设计要求。这是由小喷嘴设计与精密气体通量化学相结合而成。此外,智能Etch™技术始终减少深度变化并提高准确性。TSE 360设计用于大批量、大批量生产。它允许同时处理多个基板，每次操作最多可处理600个晶圆。它具有很大的蚀刻能力,非常适合大批量生产。此外，它的精确度和精确度使其适合高端器件制造。最后，SEMIX/TOK TSE 360是一种针对晶圆级封装应用而设计的蚀刻器/asherer。它具有智能Etch™技术和先进的气体通量模块.它提供精确的特征再现，能够同时处理多种基材。所有这些特性使得TOK TSE 360成为大批量、大批量生产的理想选择。