二手 SEMIX / TOK TSE 360A #293629227 待售

SEMIX/TOK TSE 360A是一种经济型、低批量的生产蚀刻器,为微电子应用提供了高度的精度和可靠性。适用于多种工艺和材料，如用盐酸、硫酸和高氯酸溷合物蚀刻，以及用复合氧化物溷合物蚀刻。TOK TSE 360A配备了先进的微蚀刻技术（METTM），用于精确控制和可重复性，并配有1/32-inchThrough-the-Screen（TTS）掩模，以提高精度。TTS掩码位于晶片级,并编程了多个蚀刻周期。这使用户能够在每个点或整个晶圆区域给出特定的蚀刻深度。TTS掩模的精确度使其具有以前在一个蚀刻机中不可用的卓越微蚀刻能力。SEMIX TSE 360A能够在高达200W 400V的范围内以最大总功率运行。该蚀刻器用空气冷却，可与氮和无氮一起使用，以消除介电污染。除了其Micro-etching Technology之外，它还配备了自动填充和聚合机架，以及大量的冷却通道，从而实现了均匀可靠的冷却。TSE 360A能够产生多种特征,如平滑轮廓、细条、倾斜形状和其他复杂形状。可用于金属氧化物、印刷树脂、复合金属层等多种材料。蚀刻器辅以种类繁多的配件，进一步提高性能。总体而言，SEMIX/TOK TSE 360A是一种先进的、功能丰富的微电子应用蚀刻器。其先进的微蚀刻技术和屏幕掩模提供了卓越的精确度和可重复性。它可以以高达200W的速度运行,并且能够产生各种高度精确和复杂的形状。多种材料可以蚀刻，配件可以进一步提升其能力和性能。