二手 SES MU-0712-01-02 #9284128 待售

SES MU-0712-01-02蚀刻器是由Semes公司专门设计用于物理和材料科学领域的高性能反应性离子蚀刻设备，MU-0712-01-02利用先进的大气压离子蚀刻技术。这项技术依赖于用射频（RF）场感应电子束时释放的能量。这一过程使得精细的蚀刻结果具有非常低的离子能量，因此非常适合敏感器件如复合半导体和纳米结构的蚀刻。蚀刻器配备了几个特点，使其成为物理和材料科学的完美工具。使用直观设计的用户界面可以方便地设置和调整实验。设备还配备了晶片处理能力，包括晶片映射、字母数字参考索引和条形码标签。这样就可以精确地对晶圆进行别名和识别。该系统还配备了几个先进的安全功能，确保蚀刻机的可靠和安全运行。由于其压力控制单元允许蚀刻器在不同的气体压力范围内运行，该单元能够实现高通量。根据蚀刻要求,可以手动或自动调整此范围。此外，机器上的温度监测器有助于控制蚀刻过程的均匀性。SES MU-0712-01-02利用两种不同的几何形状实现精密蚀刻，即通过聚焦高斯光束和离焦高斯光束。前者比后者具有更高的离子能，因此在蚀刻时能够实现更高的精度。此外,MU-0712-01-02还配备了三种不同的抽水模块：扩散、涡轮增压和低温.这种配置通过提供各种气体流动要求和精确控制工具的压力，使得针对不同应用优化蚀刻过程成为可能。此外，蚀刻机内的定制电极允许良好的蚀刻均匀性和低溅射速率。SES MU-0712-01-02蚀刻器设计方便维护和低成本运行，使其成为实验室、大学和研究设施的理想选择。它具有强大的安全系统、直观的用户界面和精确的蚀刻功能等高性能功能,使其成为研究环境中完美的蚀刻设备。