二手 SES Sugai #9192009 待售

SES Sugai是一款高级蚀刻器/asher，专为晶圆的高精度蚀刻和灰化而设计。它利用几个专门的过程和特点来确保准确性和效率。首先，苏盖配备了高速XY级和运动控制设备，为其晶圆载波提供快速、精确的运动。这使得蚀刻器/asher能够快速准确地扫描目标晶片。该级还配备了先进的激光系统，用于晶圆载波的精确对准，以及调节工艺的速度和分辨率。其次，SES Sugai采用专用气体输送装置，能够实现高精度蚀刻和灰化。气体输送机提供了氧气、Ar、N2和其他气体的精确组成，同时保证了规定的气体流量和压力。该工具还可以防止气体输送管路受到污染，并确保晶片的有效蚀刻和灰化。第三，Sugai具有用于直接蚀刻和灰化过程的等离子体源。这种等离子体源产生一种均匀、低温的等离子体，非常适合蚀刻和灰化。等离子体源的高能密度进一步提高了蚀刻速率和工艺速度。最后，SES Sugai配备了多套工艺传感器，用于监控蚀刻和灰化工艺的各种参数。这些传感器非常精确,可以精确控制晶圆在蚀刻和灰化过程中的加热和冷却速率、压力和气流。总体而言，Sugai是一种先进的蚀刻器/asher，其设计目的是为晶圆的蚀刻和灰化提供高精度的结果。其专门的特性和功能使其成为晶圆处理应用的强大工具。