二手 SEZ / LAM RESEARCH 100 #9211219 待售

SEZ / LAM RESEARCH 100
ID: 9211219
Single wafer etcher.
SEZ/LAM RESEARCH 100,又称蚀刻器/asher,是一种模块化、用途广泛的化学加工设备,设计用于高通量基板的串联或批量加工。该系统非常适合表面清洁、晶圆表面安装组件连接/分离、晶圆粘合、器件封装、陶瓷涂层和模具连接。SEZ 100是一个多用途的单元,可以执行许多不同的应用,包括蚀刻和ashing。该机器能够加工直径不超过6英寸、厚度不超过25微米的基板。它拥有易于使用的图形用户界面,并利用高精度热电偶和其他传感项目提供准确的过程控制。该工具旨在提供完整、可靠和可重复的蚀刻/灰烬工艺。LAM RESEARCH 100配备了许多功能,使其能够满足广泛应用的需求。它有几个化学输送模块,包括腐蚀性液体的特种输送资产Acutherm和可调化学注入模型Flexiload。该设备还具有多种温度控制选项,包括精确温度控制、可编程温度倾斜、溶剂超限、热浸泡和自动热耦合。此外,该系统具有内置的循环能力,使沐浴寿命延长,过程可重复。100被设计为蚀刻和灰化的多合一解决方桉,可以很容易地集成到现有生产线中。由于其模块化和多用途的设计,该单元能够以一致的结果和最小的停机时间进行蚀刻/灰化。它的高级功能还有助于最大限度地减少化学品使用和劳动力需求,同时使公司能够生产高性能产品。SEZ/LAM RESEARCH 100对于高通量基板的任何串联或批量加工都是可靠、强大且经济实惠的选择。这台机器具有用户友好的特点和多用途的模块,是寻找可靠工具蚀刻/粉刷基板的公司的理想选择。
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