二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293652614 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一种用于半导体制造过程中的高精度、晶圆级的蚀刻器/asher设备。该系统是一个三级、高通量、自清洗蚀刻器/asher单元，具有全自动晶片卡带到卡带的过程。该单元能够产生5埃（Å）的最小蚀刻深度和0.2微米的最小灰度深度，同时提供一致和可重复的结果。该机器能够对堆迭晶片和单个晶片进行精确、精确的蚀刻和粉刷，没有人的相互作用。该工具利用气体轴在沉积蚀刻气体之前吹干晶片（非常适合保护层蚀刻和高密度等离子体蚀刻）。资产可以产生广泛的蚀刻和灰度剖面,包括各向同性、步长、各向异性、选择性和深蚀刻剖面。也可用于进行惯性和非惯性蚀刻/灰化。该模型利用上游/下游N2清除设备，允许用户控制反应性气体对晶片的暴露。该系统配有可编程逻辑控制器（PLC），对反应物的温度、压力和流量等重要过程参数提供精确控制。PLC还能够存储最多256个晶圆配方的库，无需用户的任何干预即可快速加载和执行。该单元还具有大型液晶触摸屏和直观的图形界面，使操作员能够监控机器状态，并在每个晶片通过单元时进行检查。这样可以多次确保高质量和一致的蚀刻/灰化结果。该工具还提供了全面的诊断和报告功能,这对用户快速分析和识别资产问题非常有帮助。