二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #293758270 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一种蚀刻器/asher，一种化学蚀刻和蚀刻车道选择性去除设备。常用于小特徵的处理，尤其在微电子、半导体、光伏等行业。SEZ 101为包括半导体、金属、聚合物和氧化膜在内的材料的蚀刻提供了高精度、可重现和灵活的系统。该单元由三个紧密集成的组件组成：一个工艺室、一个精密控制单元和一个蚀刻头。该工艺室提供了蚀刻操作所必需的封闭环境，并包含一个强大的排气机以清除任何产生的蚀刻残留物。精密控制单元包含必要的编程、加热和控制，以便对材料进行精密蚀刻。最后，蚀头提供了精确控制施加到基板上的功率和电流的能力，以有选择地蚀刻图样。LAM RESEARCH 101具有强大、快速而精确的蚀刻引擎，能够产生25纳米以下的特性尺寸。该工具包含最先进的过滤资产，可确保任何大小的蚀刻颗粒从真空室中排出，保持高质量的环境。此外,蚀刻模型还提供了对可用于接触、金属化和隔离应用的材料和特征进行精确设计的能力。由于其灵活性和精确的蚀刻能力，101被用于生产集成电路、太阳能电池和微机电系统，以及用于先进的研究应用。该设备还能够支持不同基材、材料和应用的多个过程和工作流程。此外,该系统还提供出色的视线成像功能,允许在蚀刻过程前后对蚀刻图样进行无损评估。总体而言，SEZ/LAM RESEARCH 101是一个先进的蚀刻单元，提供强大、精确、灵活的解决方桉，用于蚀刻微电子和半导体行业中使用的各种材料。是一种用于先进研究和生产应用的可靠、经济的工具。