二手 SEZ / LAM RESEARCH 101 #9246714 待售

SEZ/LAM RESEARCH 101是一款蚀刻器/asher，由SEZ设计制造。这是一种热化学加工设备，旨在以高精度和精确度快速、精确地蚀刻、沉积和平面化基板。该系统建立在惰性气体大气和温度控制平台上，具有能量对工作的隔离和控制。SEZ 101采用了一系列工艺模块来实现蚀刻和灰化元件。这包括接口室、蚀刻/灰化室和冷却剂模块。该单元提供一系列可编程参数,如温度、流速、压力和时间。温度保持在预定义的水平，以便对基板进行一致的蚀刻。蚀刻/灰化室是机器的关键部件。它具有多区空气冷却和温度均匀性（跨1.7 x 1.7英寸32 °F），以确保基板的热和化学处理均匀。这个腔室还配备了高速率等离子体源和屏蔽。为确保均匀蚀刻，使用频率稳定的射频源进行等离子体活化。界面室用于在基板加热和气流控制过程中提供真空。它装有确保均匀蚀刻速率的离子源。冷却剂模块的设计确保了蚀刻/灰化室和基板的一致冷却。它具有将温度保持在预定水平的能力。可编程的气体入口和出口在工艺室内提供均匀的气体流动。LAM RESEARCH 101是一种柔性蚀刻/灰化工具，能够处理各种基材，包括金、铝和硅。101具有较高的蚀刻速率、优异的均匀性和可重复性,是许多蚀刻和灰化工艺的有效解决方桉。该资产非常适合各种应用,从MEMS制造到原型设计。