二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246715 待售

SEZ/LAM RESEARCH 203 Etcher/Asher是一种最先进的高级蚀刻机，用于在半导体晶圆上创建图样和电路。它类似于传统的蚀刻器，在这种蚀刻器中，将光刻胶或氧化物的薄膜涂在晶片表面，然后再蚀刻出所需的图样。不过RESEARCH SEZ 203配备了独特的激光辅助蚀刻设备，可以让设计更加精确、精确、复杂。RESEARCH LAM RESEARCH 203专为高容量、高精度的生产操作而设计,并配有先进的光学、软件和腔室设置,可实现各种蚀刻参数。它具有激光辅助原位端点检测（LIPED）和对先进数据监测和控制的支持。要创建图样,机器首先将所需的光刻胶或氧化膜应用于晶片,然后使用激光束创建所需的图样。然后可以将该模式编程到机器的激光控制器中，该控制器控制激光束的运动、强度和功率，以绘制出所需的模式。光束通过一系列能量调制的光学元件，将其引向晶圆的光掩蔽区域。绘制图样后,激光光束将聚焦到工件上,在为清洁工作结果而优化的受控环境中有选择地去除光刻胶或氧化膜。RESEARCH 203的系统还拥有一个先进的自动化清洁单元,可确保每个过程运行前的清洁工作条件,从而进一步提高结果的准确性和可重复性。为了减少化学和材料浪费，该机器还配备了旁路机器，在使用不需要这种技术的聚合物时，无需空气和/或惰性气体。RESEARCH SEZ/LAM RESEARCH 203用途广泛,可用于在所有主要半导体材料上创建多种样式和特征。它是寻求先进蚀刻能力的大型生产运营和研究机构的理想解决方桉。