二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9246718 待售

SEZ / LAM RESEARCH 203
ID: 9246718
晶圆大小: 6"-8"
Spin etcher, 6"-8" With chamber.
SEZ/LAM RESEARCH 203 蚀刻器/asher是为半导体行业设计的高品质蚀刻和灰化工具。这种蚀刻器是为了蚀刻和ashing半导体材料如硅、的、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、、。它可以处理直径不超过8英寸的晶片,并具有坚固的计算机控制系统,以确保对基板进行精确的蚀刻和灰化。SEZ 203利用蚀刻/收集器工艺在晶圆上创建电路。蚀刻是去除基板层薄层的过程,而灰化是去除基板上的氧化物层的过程。蚀刻器/asher使用等离子体浸没离子植入和反应性离子蚀刻(RIE)的组合,以达到理想的效果。它还具有利用气体活化化学气相沉积和电化学沉积沉积薄膜的能力。LAM RESEARCH 203还具有多种安全特性,包括惰性气室、排气挡板和化学输送系统。惰性充气室防止危险化学品与晶片接触的可能性。排气挡板有助于使蚀刻和灰化蒸气远离操作员。化学输送系统还保持了蚀刻和灰化过程的一致性和准确性。203是半导体行业可靠、经济高效的蚀刻和灰化解决方桉。其功能确保了用户的精确蚀刻和灰度处理以及安全性。它易于操作和维护,是任何蚀刻和灰化应用的理想选择。
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