二手 SEZ / LAM RESEARCH 203 #9399002 待售

SEZ/LAM RESEARCH 203 Asher是一种通用的批处理晶圆蚀刻工具。Asher采用等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）工艺，专门设计用于蚀刻和清洗高温敏感材料，如碳化硅、砷化​​氙和蓝宝石。SEZ 203是用于半导体制造的理想选择,它使用压力、温度和化学的组合来清洁、蚀刻或掩蔽工件。Asher的工艺室用高质量的真空加压，然后加热以减少或澄清工艺中的污染物。流量会自动监控,从而可以精确控制蚀刻速率。存储多个工艺配方,以便于访问,无论材料如何,都能获得一致的蚀刻结果。此外,所有工艺参数都可以通过大型触摸显示器轻松调整,从而能够根据特定要求快速定制。Asher的高级诊断最大限度地提高了性能和安全性。Asher通过其集成的激光干涉仪和光电二极管阵列，在x和y两个方向对准具有纳米级精度的基板。激光还包括一个污染监测仪，利用激光干涉测量来检测和测量蚀刻室中存在的任何杂质。这样可以确保过程的安全性和质量,同时最大限度地减少废料。Asher还具有许多环境特征。它符合危险材料的UL绿色标签系统标准，这意味着它不接触或限制接触有害材料，例如臭氧和其他挥发性有机化合物。此外,它还配备了安全门,可防止意外启动或过程中断。Asher还设计用于最大程度地减少噪音,将声级保持在最低水平。综上所述，LAM RESEARCH 203 Asher是一款适用于高温敏感材料的高效、性价比高的批量加工蚀刻器。其自动化的工艺配方和具有纳米级精度的高级诊断确保了一致的结果,而其环境控制有助于使其成为一个安全可靠的设备。