二手 SEZ / LAM RESEARCH 223 #293774501 待售

SEZ/LAM RESEARCH 223是一款功能丰富的蚀刻器/asher,非常适合晶圆的制造和加工需要。它可容纳300 mm晶圆,旨在提供最佳蚀刻性能,占用空间更小,从而节省宝贵的空间。该设备配有集成过程控制，为用户提供可靠、可重复的蚀刻性能。该系统配有高分辨率自动对齐器和能量监视器，用于精确蚀刻。它能够处理单面和双面晶片，并且可以在单个晶片的顶部和底部蚀刻。自动对齐器允许设备快速准确地匹配每个晶片的蚀刻参数，确保每个蚀刻执行完全相同。这有助于提高机器的整体吞吐量和准确性。SEZ 223工具利用两级等离子体蚀刻资产，最大化蚀刻速率和轮廓控制。这种先进的工艺控制技术提供了增强的蚀刻控制，以及清洁的环境，这对晶圆曝光/开发过程是有利的。该模型还具有最大的灵活性，能够蚀刻具有各种不同尺寸和材料的晶片。该设备还被设计用来优化蚀刻工艺，并通过利用一种改进的气体输送方桉最大限度地提高吞吐量，该方桉可以在整个晶片表面上诱导均匀的蚀刻轮廓。这意味着该系统提高了整个晶片的蚀刻均匀性。LAM RESEARCH 223还设计方便维护和操作。该设备还配有一个用户友好界面，便于监控机器性能和访问刀具参数。可靠的资产设计确保了资产在较长时间内的可靠和高效运行。总体而言，223是一种健壮高效的晶圆蚀刻器和灰化器，非常适合晶圆的制造和加工需要。该型号可处理各种尺寸和材料的晶片，占地面积小以节省有价值的空间，并为用户提供可靠、可重复的蚀刻性能。设备的两级等离子体蚀刻系统和集成过程控制使其易于维护和操作，其用户友好的界面使其易于监控和访问单元参数。