二手 SEZ / LAM RESEARCH 223 #293814668 待售

SEZ/LAM RESEARCH 223是一种精密的蚀刻器/粉碎器,具有紧密、高精度的介电隔离特性。它专为工业用途而设计，可用于MEMS、RF、CMOS等多种生产工艺。该工具利用电子回旋共振（ECR）和电感耦合等离子体（ICP）技术,提供多种蚀刻和灰化选项。SEZ 223允许广泛的流程控制功能,为用户提供满足流程需求的灵活性。LAM RESEARCH 223带有一个负载锁定和泵站，可以快速处理多个晶片，从而实现高效生产和提高吞吐量。该工具先进的工艺配方控制系统（包括多个端点参数和广泛的工艺日志记录）结合其内置的特征大小和漂移补偿算法，保证了在多个晶圆上的均匀蚀刻。此外,该工具在生产过程中保持了极好的可重复性,并且提供了非常短的工艺周期时间,从而提高了生产率并降低了生产成本。223利用ICP源进行高选择性和低损坏蚀刻,其ECR源模块提供更高的蚀刻速率,非常适合深度特征蚀刻。该工具的高级ECR控制算法可确保在宽进程窗口上进行非常均匀的蚀刻。该工具的压力和气流控制能力进一步确保后续工艺步骤的一致性和可靠性。SEZ/LAM RESEARCH 223还提供独特的射频蚀刻/灰化模式，提供极为先进的灰化控制参数，以及材料特有的蚀刻能力。聚焦和电容耦合等离子体源允许快速、高质量的蚀刻和灰化，而不产生二次电离物质。该工具甚至允许在不同的应用中使用范围广泛的温度，从主动冷却到加速金属蚀刻。总体而言,SEZ 223是一款可靠且先进的蚀刻器/asher。其先进的技术、广泛的过程控制能力和生产自动化特性使其成为工业生产的理想选择,特别是对于紧密、高精度的介电隔离特性。