二手 SEZ / LAM RESEARCH 300 #9211251 待售

SEZ/LAM RESEARCH 300是一款顶级、不折不扣的干蚀刻机（又称asher）。它专为精密和速度而设计，能够在各种基板上进行高精度、快速的金属蚀刻和绝缘材料。此顶级型号专为大多数金属和绝缘材料的全晶圆尺寸（最大12英寸）的高通量处理而设计。该系统是为过程的一致性和可重复性而设计的。SEZ 300附带了一个带有实时流程参数监控的高级控制控制台。它还具有各种自动化和记录功能选项,有助于进行时间比较。它还允许用户设计自己的配方，申请自己的蚀刻工艺。SEZ/LAMLAM RESEARCH 300的核心是其密封的、螺距设置的外部涂层-硅胶、塑料和陶瓷的先进组合,旨在使设备不受灰尘和污染物的侵蚀,并增强其防腐装甲,以保护内部部件免受腐蚀威胁。该蚀刻器具有从小等离子体源到工艺区域的优化过渡的等离子体腔，最大限度地提高了蚀刻效率和效率。300还配有带真空互锁安全门的冷壁壁管基板装载系统，以及封闭的低颗粒加工环境。根据客户的需要，该工艺室采用人体工程学设计，以适应各种蚀刻速率和压力水平。它设计用于单晶片和批量基板。腔室是超活动的，可以在几秒钟内装卸，以提高吞吐量和可重复性。作为蚀刻器，SEZ/LAM RESEARCH 300提供阶梯蚀刻和反应性离子蚀刻等策略。作为其蚀刻功能的补充,SEZ 300还提供其他服务,如分层、平面化、填充和背包。LAM RESEARCH 300还具有多种工艺参数,可调节沉积、应力、速率、温度和表面粗糙度,以达到不同材料的最佳条件。总之,300是一种顶级的蚀刻器/asher,专为高吞吐量处理而设计,且停机时间最短。它是一种可靠、精确、可重复的工具，设计用于快速、准确地在各种基板上对大多数金属和绝缘材料进行精密蚀刻。它的高级功能、自动化功能和人体工程学设计使其成为要求最苛刻的应用程序的完美工具。