二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293622221 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一种批量式的精密湿蚀刻和灰化设备。它旨在为各种基材、半导体晶片、金属和其他材料的精密蚀刻提供快速、安全、准确的配方组合。SEZ 304配备了一个三线平台，最多可容纳四个大幅面基板（典型的6"和8"基板），最多可容纳四个机架的基板更广泛的格式（10"和12"）。该平台具有广泛的加工室大小和蚀刻速率,允许处理时间和蚀刻速率的完全可变性。LAM RESEARCH 304还提供了广泛的可编程食谱，用于蚀刻和灰化率，允许可重现和可靠的批次。304有内置气体面板，允许对工艺室的大气进行完全控制。此外，SEZ/LAM RESEARCH 304还采用了集成的就地清洁系统，以方便快速高效地清洁蚀刻/灰烬室和工艺管线。SEZ 304的控制单元提供了全面的流程自动化解决方桉，并允许用户编程和控制各种流程参数。LAM RESEARCH 304直观且用户友好的图形界面使操作员能够快速轻松地编程和监视蚀刻/灰烬过程,并允许即时故障排除和监控。304还具有广泛的安全特性，包括两个级别的真空互锁以确保安全运行，一个压力监控器以监测腔室压力，一个温度监控器以确保适当的基板加热和冷却，以及一个过程监控器以确保适当的蚀刻速率和过程时间。SEZ/LAM RESEARCH 304还有多种用户可选的报警设置，允许操作员根据自己特定的流程需求量身定制报警设置。此外，SEZ 304采用无石英蚀刻工艺，消除了将金属元素引入蚀刻室，从而减少了污染或损坏基材的风险。综上所述，LAM RESEARCH 304是一种可靠、用途广泛的精密湿蚀刻和灰化机，为用户提供精密蚀刻和灰化率以及全面的工艺自动化解决方桉。304提供了广泛的工艺室尺寸和蚀刻速率、直观的图形用户界面以及内置的安全功能,以确保安全操作和过程完整性。凭借强大的性能和可靠性，SEZ/LAM RESEARCH 304适用于工业研究、生产和教育应用。