二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #293652616 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一种等离子体蚀刻/灰化设备，用于以高通量率生产高质量的图样微结构。它能够蚀刻硅、玻璃、金属和氮化物等各种材料中的基材，在微电子工业中有广泛的应用。它的特性和能力为产品的制造提供了最高质量和可重复的结果。SEZ 304具有自动化的机器人系统,可方便地处理基板。此自动化过程允许优化曝光时间,从而产生可重复、准确的蚀刻结果。该单元还提供了高度的精确度和控制，具有控制蚀刻速率的能力，同时在整个基板上提供均匀性。机器还能够产生没有任何工件或径流效果的模式。该工具还配备了先进的等离子体源，提供了高水平的性能和准确性。这种先进的源产生高密度的等离子体，然后通过蚀刻室被引导到基板上。这种高密度的等离子体导致优化蚀刻速率，从而转化为更高质量的蚀刻结构。LAM RESEARCH 304还设有一个多区域加工室，可连续蚀刻各种材料中的多种基材。此资产允许控制蚀刻过程参数。该模型还具有用于控制蚀刻速率的先进气体输送设备，并具有处理各种蚀刻化学物质的能力。304还配备了高级诊断程序,包括集成的边缘成像剖面仪,可提供图桉化蚀刻剖面边缘的亚微米分辨率成像。该系统还提供现场监测，以便优化过程参数，确保最高质量的结果。SEZ/LAM RESEARCH 304提供了生产高吞吐量的高质量和可重复蚀刻微结构的能力,从而提高了生产吞吐量,并最终提高了生产线的效率。它的特性和能力为产品的制造提供了最高质量和可重复的结果。