二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224043 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一款适合高性能半导体加工的asher/etcher设备。它具有先进的LAMPAR™技术,可提供高水平的性能、工作效率、保真度和统一性。SEZ 304集成了利用特定于LAM的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）和蚀刻技术的蚀刻、沉积和抗蚀/介电剥离工艺。该系统有一个17英寸的抛出感光器和一个手动调节石英梯子。它还有一个上层真空单元，能够实现精确和可重复的蚀刻过程。此外,LAM RESEARCH 304还提供精确的基于时间的过程控制机器,可重复性为± 0.001 °C/min。这对于关键蚀刻应用程序至关重要,以确保产品质量和可靠性。304包括一个高温均匀性包,可提供对本地和全球温度概况的精确控制。此功能在基板上形成均匀、均匀的厚度和均匀性,从而提高设备性能。SEZ/LAM RESEARCH 304还配备了先进的LAMResearch™过程中心，用于完整的过程控制和数据记录。这允许用户监控腔室条件，以最大限度地提高刀具性能，最大限度地提高制造产量，并改善工艺控制。SEZ 304利用先进的LAMPAR™技术提供了超高分辨率的轮廓和均匀性的蚀刻工艺。这提供了最佳的基材蚀刻质量和重现蚀刻结果。此外,LAM RESEARCH 304还采用了一种专有的特定于LAM的工艺,由最先进的PLC控制器驱动。该资产能够检测和防止电弧事件,最大程度地减少漂移的可能性,并且随时间推移保持高度稳定。LAM 304在半导体工业中有成功的蚀刻应用经验，非常适合批量生产和研发。此外，SEZ/LAM RESEARCH 304易于操作和调整，并且可以与各种化学品和基材配合使用。其先进的LAMPAR™技术、先进的工艺中心和高温均匀封装使SEZ 304成为半导体制造的理想工具。