二手 SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224044 待售

SEZ/LAM RESEARCH 304是一种用于半导体加工的蚀刻器/asher。这是一个加速的物理蚀刻过程，它使用一个铜/氙/氧气（CuBeO）源在广泛的材料上获取高速率、精确和均匀的薄膜蚀刻。该蚀刻器/asher提供了多用途的加工功能,可满足不同的蚀刻要求,包括湿蚀刻、干蚀刻和湿干蚀刻。SEZ 304的首要操作是为半导体晶圆提供高速率蚀刻工艺。该装置具有两个独立的腔室，可同时蚀刻最多两个工件。它采用双变频射频发电机设计，使其能够产生多个频率，低至100kHz，高至10MHz。频率调整允许精确的蚀刻控制和均匀的薄膜蚀刻。该过程通过一个计算机化的控制系统启动，该系统提供了一套综合的可编程参数，用于控制蚀刻模式、蚀刻速率和蚀刻深度。这些参数易于调节,可以高效蚀刻。蚀刻器/asher还具有安全互锁功能,可防止未经授权的人员进入工作板区域。这一额外的安全措施有助于防止事故发生，并确保安全处理半导体晶片。LAM RESEARCH 304经济实惠，为多种材料提供统一的蚀刻能力。蚀刻器/asher提供了灵活性和可扩展性,非常适合各种应用程序。它还具有一个可以使用水冷系统快速冷却的蚀刻室。这样可以提高工艺稳定性,并有助于实现一致的蚀刻结果。总体而言，304是专门为半导体加工而设计的蚀刻器/asher。它具有精确蚀刻的可调参数、安全互锁、双频射频发生器、快速冷却机制和应用的可扩展性。它具有经济高效的设计和统一的蚀刻能力，非常适合为半导体晶片提供可靠、经济高效的蚀刻工艺。