二手 SEZ / LAM RESEARCH 305 #293652618 待售

SEZ / LAM RESEARCH 305
ID: 293652618
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2006
Spin processor, 8"-12" Chamber 2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 305是一种高精度的蚀刻器,或asher,设计用于制造薄膜结构。这种装置具有大功率氟化氢气源,可用于湿式各向同性蚀刻。它还配备了一个泵系统,允许快速反应室疏散,从而实现金属和有机电介质的精确和快速蚀刻。SEZ/LAM可以蚀刻到0.5微米大小的结构。这使得它非常适合在电子设备上创建纳米终端或其他高分辨率电路。Asher还允许选择性蚀刻,这意味着它可以比其他材料更缓慢地蚀刻某些材料。例如氧化硅可以每分钟1微米的速率蚀刻,而其他材料则可以每分钟10微米的速度蚀刻。这有助于确保复杂结构的精确制造。LAM RESEARCHY/LAM非常方便用户。它具有直观的触摸屏界面,允许用户轻松调整蚀刻时间和参数。与较旧、较複杂的蚀刻器相比,SEZ/LAM RESEARCH/LAM的人性化操作是一个明显的改进。该设备还包括一个可编程的机器人装载机,一次最多可容纳五个底物。这样可以轻松地并行执行多个过程,并节省时间和金钱。在安全性方面,SEZ 305极为可靠。它具有三重阀门系统,以防止加工化学品远离环境。此外,它还使用一个循环泵来保持恒定的流量.这将有害化学品的积累降到最低。总而言之,LAM RESEARCH 305是制作薄膜的绝佳蚀刻器。它结合了高精度、用户友好的操作以及增强的安全性,使其成为各种工业和研究应用的理想选择。
还没有评论