二手 SEZ / LAM RESEARCH 323 #293632547 待售
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ID: 293632547
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Spin processor, 12"
Controller
Carrier station block, (4) FOUP
Process block
AC Power box
(2) Etchers
CDU
Temperature Control Unit (TCU)
Solvent supply system: (2) Tank auto supply systems with CSS
Direct drain
Heater tank
(4) SLQ-QT500 Flow meters
2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323是一种蚀刻和灰化工具，能够对复合材料层进行高质量的选择性蚀刻和灰化。该工具产生了非常精确和可重复的结果，允许通过化学蚀刻和等离子体灰化选择性去除复杂层中的不同材料。SEZ 323具有紧凑、坚固的设计,适合空间有限的应用。蚀刻和灰化过程可以使用各种气体完成，包括氧气、氙气、六氟化硫和氨。通过使用压力和流量控制器以及先进的真空系统来控制这些气体。该工具还允许用户在一系列蚀刻和灰化参数之间进行选择,例如温度、压力和功率。LAM RESEARCH 323旨在实现高精度蚀刻和灰化工艺。数字过程程序使用户能够根据自己想要的结果设置蚀刻和灰化过程，而计算机触摸屏和图形用户界面则提供了直观的操作方法。刀具还包括内置的保护措施,如果超出了预设参数,这些保护措施将自动关闭机器。这款蚀刻器/asher还具有4英寸的工作区，适合小规模项目。该腔室由坚固的钢制成，以提高可靠性和性能。323还设有集成冷却系统，利用周围环境对电子组件和反应室进行冷却。SEZ/LAM RESEARCH 323蚀刻和灰化工具为选择性去除材料提供了一种耐用且高精度的解决方桉。它是很多行业的绝佳选择，比如半导体和陶瓷行业，生产成品需要高质量的成果。
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