二手 SEZ / LAM RESEARCH 323 #9224055 待售

SEZ/LAM RESEARCH 323是一款非常出色的蚀刻器/asher,专门设计用于各种生产应用。该型号配备了高级层传输系统，为高级处理提供高精度。它设计用于通过聚合物薄膜、抗蚀剂和其他材料层直接蚀刻高长宽比的等离子体。SEZ 323采用极其严格的规格,当与兼容的夹具和支架配合使用时,能够实现从0.1微米到100微米的轮廓精度。LAM RESEARCH 323提供了一个全自动的过程，带有一个大晶片卡盘，最多可容纳8英寸晶片。晶片卡盘装有RF驱动的z级、机械侧级、屏蔽架和两个升降销。机械侧级便于单层或薄层传递，而屏蔽架提供均匀的等离子体能量分布。提升销系统精确地对准基板,消除了敏感材料的窗口移动.323具有先进的气体辅助蚀刻系统,无需人工干预并减少污染。高效的过程利用等离子体分解聚合物键层，并将其分散在大气中，以便快速和容易地去除模式。在核蚀刻过程中，工艺室保持一种控制气氛，产生极好的微细层蚀刻。SEZ/LAM RESEARCH 323有一个直观的用户界面，允许操作员根据过程速度、腔室真空和蚀刻速率配置机器。此外，实时压力和气流监测允许操作员根据特定基板或图样设计的需要调整条件。蚀刻器/asher还具有减小的足迹和缓冲室大小，使其易于并入空间受限系统。SEZ 323 蚀刻器/asher是各种生产应用的绝佳选择，为运营商提供无与伦比的性能和可靠性。它的高级功能允许密集的定制级别,使用户能够根据其特定的流程要求定制计算机。LAM RESEARCH 323具有可靠的操作和精确的层移，是大批量生产、原型生产和研究的重要工具。