二手 SEZ / LAM RESEARCH Chambers for SP 323 #293653786 待售

SEZ/LAM RESEARCH Chambers for SP 323是为半导体工程应用而设计的先进蚀刻/灰化设备。它能够增强表面蚀刻和各种材料（包括各种金属和玻璃）的精确化学粉刷。该系统的一套反应性气体溷合器和阀门使等离子体处理大气能够快速准确地输送。它的自动过程控制软件使整个单元能够从用户自己的PC计算机操作。SP 323的SEZ Chambers由三个基本元素组成-不锈钢真空室、机器人样品处理机和专用等离子体源。位于工具底部的真空室设计用于处理各种尺寸的晶片（最多8英寸圆或正方形）。它由椭圆工艺室、机器人臂、加热器和静电屏蔽装置构成。机器人臂可以在资产内快速、精确和可重复地加载和定位样品。加热器用于在模型的所有表面保持均匀的温度。静电屏蔽设计用于减少蚀刻/灰化过程中产生的粒子。SEZ Chambers的专用等离子体源增强了表面蚀刻工艺，并提供了多种材料的精确化学粉刷。利用异步脉冲射频发生器在两个电极之间产生强射频（RF）场。这个射频场可以用7.5MHz到13MHz的频率控制，或者可以手动调整沉积频率以适应基板的特定要求。而且，频率可以根据工艺室压力对齐，以确保最佳工艺结果。这套反应性气体溷合器和阀门能够快速产生和输送蚀刻/灰烬工艺所需的精确等离子体处理气氛。设备可配备氧气、氮气、氙气、氦气、F2、NF3、SF6和CF4等多种气体，各种加工任务的输送比范围广泛。该系统还设有一个有效的紧急清洗单位，以确保用户及其样品的安全。最后,LAM RESEARCH Chambers for SP 323有一个直观的、基于图形的自动过程控制软件.它用于定义和运行蚀刻/灰化过程的所有方面,从设置配方到控制每个进程步骤的运行时。该控制机为每个过程步骤提供可靠的过程安全性和可重复性。最后，SP 323的Chambers提供了卓越的蚀刻/灰化能力，完全自动化，并提供可靠的过程安全和可重复性。它具有先进的特性和功能,是半导体工程应用的理想工具。