二手 SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178 待售
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ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Prime是一款精密蚀刻和灰化机,设计用于半导体、MEMS和医疗器械行业的高端切削、烧蚀和微加工应用。SEZ达芬奇DV Prime具有极高的精确度、较高的吞吐量和较低的缺陷率,正迅速成为寻求突破先进蚀刻和灰化工艺界限的人们的首选。该机具有高分辨率的3axis运动控制设备,无论任何材料的初始特性如何,都可以对其进行精确和可重复的加工加工。达芬奇集成的内置光学成像系统实现了精确的过程监控,使用户可以轻松优化过程参数,从而生产出精确且无缺陷的零件。此外,蚀刻和灰化过程可以完全自动化,并具有用于高级监控的专有界面。机器的集成软件还包括一些附加的与流程相关的功能,例如用于复杂几何的自动注册系统、高级边缘识别单元以及用于重新定义现有流程的精确模式匹配功能。这使用户能够最大程度地提高流程灵活性和可重复性。该机还配备了自动化装卸机,以最大限度地提高效率。自动加载器允许用户加载大批量零件,卸载工具可以根据零件的蚀刻和灰度参数快速排序零件。这样可以确保最终产品达到最高质量,并消除缺陷。LAM RESEARCH DaVinci DV Prime是一款用途广泛且可靠的工具,旨在满足甚至最严格的要求。它的一整套功能使用户能够以无与伦比的可靠性和效率,为蚀刻和灰度精度和吞吐量设定新的标准。该机器设计为在要求最苛刻的环境中工作,非常适合任何需要高精度蚀刻和灰化的应用。
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