二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 BF #9389718 待售
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ID: 9389718
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Single wafer etcher, 12"
Air valve missing
Loadport
Chamber
Robot
Controller
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 BF是一种强大、高精度、反应性离子蚀刻（RIE）的灰化器。它旨在达到最高的效率和可靠性水平，以满足严格的工业标准。该设备结合了卓越的技术和特点以及卓越的功耗和精确度,大大提高了蚀刻工艺的生产率。SEZ DV-34 BF能够处理各种材料，包括硅、二氧化硅和石英。该系统采用创新的双波束输送装置，能够实现精确控制，并具有最佳性能和可重复性。这意味着组件接收均匀间隔和校准的能量脉冲,从而确保每个工件的精确蚀刻,从而提高过程的可重复性和稳定性。该机还提供从微光刻到高级蚀刻等多种蚀刻技术，使其成为满足各种蚀刻需求的完美解决方桉。该工具最多支持四个不同的光束,并且具有单个端口处理,整个过程周期时间仅为19分钟。它还提供高达250瓦的多种功率级别,使用户能够实现业界最高的蚀刻速率。该资产的其他特点包括具有95 nm分辨率扫描仪的超高分辨率数字成像模型和允许对各种材料进行安全的低温蚀刻的低温蚀刻模式。链载荷生产率功能进一步提高了流程的准确性和吞吐量,使一次可以同步处理多个工件。LAM RESEARCH DV-34BF通过其内置的层层深沟蚀刻工具和通过测量样品蚀刻厚度来调整蚀刻深度的AutoTune功能,实现了最高精度的蚀刻结果。这样可以确保蚀刻过程的准确性、均匀性和可重复性。该设备还具有强大的数据处理处理器来控制蚀刻参数，以便针对用户的特定应用进行优化。SEZ/LAM RESEARCH DV-34BF具有卓越的技术、直观的用户界面和强大的功能,是蚀刻任务的理想选择。它非常适合高容量和复杂的蚀刻应用,使用户能够在使用多种材料的同时达到最高精度。
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