二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652632 待售
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ID: 293652632
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2007
Single wafer etchers, 8" - 12"
(4) Chambers
2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种Etcher/Asher设备,设计用于化学蚀刻、灰化和沉积。它融合了先进技术,包括高速脉冲发生器、车载智能控制器和精密气体输送系统。该系统非常适合现代蚀刻和灰化工艺。经济特区DV-34设计用于精确控制复杂的蚀刻和沉积作业。它配备了一组复杂的功能,使用户能够更高效、更准确地执行其流程。这包括一个高级脉冲发生器以及一个能够同时管理多达20个进程的车载智能控制器。此外,该单元还提供三种不同的操作模式,包括手动、半自动和全自动。这允许用户自定义他们的蚀刻和灰化过程,以及完全自动化他们的反应。LAM RESEARCH DV-34还具有机载气体动态系统和集成气体溷合功能。这使用户能够将多种气体溷合成一个统一的工艺,可以用于溅射涂层、化学蚀刻,甚至用于灰化。此外,这台机器能够处理从每分钟0.5升到每分钟100升的空气流量。这允许用户精确控制单个作业中发生的蚀刻和灰化量。DV-34还配备了一个直观的用户界面,这使得它更容易编程蚀刻和ashing过程。该工具还得到了广泛的技术库的支持,它使用户能够轻松访问资产的设置和参数。这样可以确保用户充分利用其蚀刻和灰度处理结果。总体而言,SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种高级蚀刻和灰化模型,旨在在各种应用中提供卓越的效果。它提供了强大而直观的功能,其集成的气体溷合和动态功能可帮助用户根据其独特的需求快速准确地定制流程。因此,对于需要从蚀刻和灰化设备获得最高精度、控制和准确性的用户,SEZ DV-34是理想的选择。
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