二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293652633 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种先进的等离子体蚀刻器/灰化器,可有效、均匀地去除有机和无机材料。它是一种适用于各种应用的通用、经济高效且可靠的蚀刻解决方桉。蚀刻器独特的设计让使用者可以调整各种材料的蚀刻速率。该单元配备了一个7.6英寸宽的腔室，允许它同时蚀刻多块。该单元还具有一个穿孔支架组件，提供统一蚀刻，而不需要额外的夹具。它的螺旋流动气体输送系统创造了一个连续的均匀流动所需蚀刻化学通过蚀刻室。无隔片设计消除了蚀刻室的潜在污染源，允许操作高达10-4 torr。SEZ DV-34的设计考虑了用户的安全,它包含两个真空泵,这些真空泵可提高真空稳定性,同时允许用户完全控制腔室的疏散并协助可重复的过程。另外，腔内的晶圆运动系统有助于防止过热，这会伤害细腻的基板。晶圆运动系统消除了经常由温度梯度引起的边缘效应。此外，LAM RESEARCH DV-34配备了全面的触摸屏界面，可以让用户轻松编程和监控蚀刻过程。在触摸屏上编程过程简单直观，允许广泛的自定义参数和可编程蚀刻配方。用户可以从几种可选的工艺配方中进行选择，剪切蚀刻时间，消除边缘效应。总体而言,DV-34是一种先进且可靠的蚀刻器/灰化器,可在多种材料上提供精密蚀刻。它具有多种用户友好的功能,使其成为各种蚀刻应用程序的理想解决方桉。