二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754180 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种最先进的蚀刻器/asher,可用于生产高性能、先进的材料。它旨在为有机和金属材料的加工提供最大的灵活性和性能。SEZ DV-34 蚀刻器/asher由高电阻石英管和炉、自动化气体输送设备以及精密控制的蚀刻/灰烬系统构成。石英管和熔炉采用优异的隔热结构，以提高效率和工艺可重复性，而自动气体输送装置在所需的比率和流量中提供多达10种不同的工艺气体。蚀刻/灰分机通过使用可编程的电容耦合瞬时提供精细的控制。这样可以确保蚀刻/灰分过程非常精确且可重复。LAM RESEARCH DV-34还具有高压反应性离子蚀刻（RIE）功能,使生产商能够高精度地通过较厚、较硬的材料进行蚀刻。在生产具有精细N形状、薄壁或其他详细特征的元件时,此功能非常方便。RIE还允许蚀刻氮化物、多晶硅和非晶硅等材料。DV-34蚀刻器/灰化器还带有反应性气体活化，这有助于提高蚀刻的工艺速率和均匀性。这项技术还有助于减少表面粗糙度和蚀刻过程产生的废物量。此外，SEZ/LAM RESEARCH DV-34还配备了一些先进的监测和诊断工具。这些包括视听显示器、温度控制、尺寸轮廓能力以及工艺参数趋势监测，以确保最佳蚀刻/灰分工艺的可重复性和产量。这种蚀刻器/asher非常适合商业生产和研发实验室使用。它非常适合以多种格式加工先进材料，包括基材、晶片和面板。经济特区DV-34是真正的金标蚀刻和灰化工艺.