二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754182 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种蚀刻器/asher,专为需要在大面积上进行精密蚀刻的工艺而设计。它特别专为半导体晶圆、金属和玻璃蚀刻应用而设计，有助于加快工艺时间，同时确保严格的公差精度。它通过独特的设计得以实现，其中包括多个工艺模块，每个模块都有一个用于工艺浆液或有机/水化学的"环"供应设备。这有助于在正在加工的晶片或其他材料的整个区域以稳定和统一的方式输送化学物质。由于其环形供应系统，SEZ DV-34可以比传统系统实现高达40%的处理时间。它还确保了紧密的过程控制和可重复性，这对于高质量的微加工是至关重要的。由于它可以处理大面积的蚀刻，因此能够优化整个基板表面均匀性的材料蚀刻。此外,该单元还包括自动端点检测功能,使其能够在整个过程中准确监控蚀刻进度。该机器包括自动化功能，如调节排气和可更换气体管线的能力，所有这些都使它能够主动优化蚀刻轮廓。该工具在整个过程中确保了一致的浆液，同时最大限度地减少了硅酸盐沉积和其他参数的可变性。它还有助于最大限度地减少由于其排气过滤器资产和闭环环境造成的污染。总体而言,LAM RESEARCH DV-34是一种多功能的蚀刻器/asher,专门设计用于在大型基材区域实现最高质量的蚀刻工艺。对于需要严格公差精度和可重复性的微细加工来说，它是一个理想的选择，因为它可以在整个基板上提供均匀和优化的蚀刻。该模型利用了复杂的组件，有助于确保整个过程的可靠和一致的性能。因此，它是一个有效的选择蚀刻过程需要精确的结果与紧密的过程控制。