二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种蚀刻器/asher，用于半导体应用。它是一个完全集成的自动化解决方桉,适用于各种过程,包括蚀刻、灰化和清洁溅射蚀刻。该设备采用经过验证的100%单面和双面精密蚀刻/灰化技术,具有高度可靠的硬件和软件平台。SEZ DV-34配备1000 W电子束光源，能够进行单面和双面蚀刻/灰化。该系统提供的热退火能力使其适用于硅基材料。该设备的设计和高吞吐量使其非常适合半导体行业内先进的大批量制造和应用。此外，该机还配备了精确控制工具，可精确控制工艺参数。资产的智能监控能力使其能够在蚀刻/灰化之前检测基板中的缺陷，从而节省时间和金钱。该过程可以根据用户的需要进行定制,并具有调整蚀刻参数以实现更精确控制的选项。还包括交互式流程控制软件，实时提供详细流程信息。软件创建自动工具包布局,以便用户能够确保针对所需的应用程序优化蚀刻/灰化过程。软件的数据分析功能使用户能够分析流程数据,并确保针对所需的应用程序优化流程。该模型还具有双室设计，允许同时进行多次蚀刻过程操作。这消除了对多个独立系统的需求，使其特别适合大型生产运行。双腔室设计最大限度地提高了蚀刻均匀性，确保了基板之间的差异最小。该设备设计符合SEMI标准200，并具有广泛的prober兼容夹具，使其与广泛的客户设备兼容。该系统还提供广泛的终身保修,确保支持和安心。最后,LAM RESEARCH DV-34 蚀刻器/asher是一个先进的、完全集成的单元,它提供精密蚀刻/灰化操作,对环境的影响最小。该机配备了强大的电子束源、精确的控制功能和实时的数据分析能力，适合大规模、复杂的应用。该工具的双腔室设计、与prober兼容的夹具和终生保修使其成为各种蚀刻/灰化过程的可靠解决方桉。