二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293758354 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种创新的蚀刻和灰化设备,可为与半导体制造相关的各种处理步骤提供精确、可重复的结果。系统的腔室为紧凑、圆柱形设计，高1.2米，直径40厘米。它专为处理小批量而量身定制，非常适合原型开发和研究实验室。也有能力处理大批量的生产工作。SEZ DV-34具有压力、温度和气体控制功能,可对多种材料进行精密蚀刻和灰化,包括硅、砷化氙、氮化氙和铝。单元内的压力容易控制，范围为5至20托，变化极限为0.02托。该机还具有反应堆倾斜角度调节功能，允许用户精确控制蚀刻速率，以及完全集成的门阀进行配方匹配。该工具进一步支持多种气源，包括氙气、氧气、CF4/CHF3、NF3和Cl2。它有一条线路气体流量监测仪，用于入口（I型）和出口（F型）的气体监测。它还具有一系列传感器，包括载流子质量流量监测仪/仪表、闸阀压力监测仪和加热器组件中的压力调节控制测量。LAM RESEARCH DV-34的过程控制软件直观、用户友好，配有用于管理其他配方的配方库。它具有数据记录资产,能够存储多达200个配方和多达2,000个数据点。它能够同时实时监控多达20个参数。强大的软件进一步允许有效的模型监控、校准和过程控制。总体而言,DV-34是一种功能强大、精确且可靠的蚀刻和灰化设备,它提供了一系列功能强大的功能,可帮助用户从系统中获得最大收益。它非常适合研究实验室、开发实验室和大批量生产。