二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9211222 待售

SEZ PV-34是一种用于各种先进半导体制造应用的蚀刻器/asher。该设备采用先进水平的等离子体蚀刻和液-等离子体灰化相结合的方法，以准确有效地蚀刻/灰分各种类型的半导体材料。该PV-34具有优异的蚀刻性能,能够非常严格地控制基板上电路甲板的尺寸、形状和钝化。该PV-34具有独特的设计，允许对蚀刻工艺进行实时的自适应调整，同时考虑到压力、温度和气体溷合物等工艺变量。这样可以严格控制复杂形状的蚀刻形状和轮廓,同时提供出色的均匀性,减少处理时间,并保持严格的表面质量和可重复性。该系统充分结合了现有的最先进的等离子体和液体蚀刻技术，并包括大范围的进气速率，以控制等离子体密度和均匀性。此外，该单元还配备了精确的温度、压力和电源设置，以及一套控制软件，使蚀刻过程适应具体任务。该PV-34还配备了一系列有助于机器运行和维护的功能，如警告和报警消息、完整的数据存储、一个可以让晶片快速进出工具的卷筒以及一个实时记录资产。此外,该模型还通过其直观的用户界面和灵活的配方构建工具,确保以自动化的方式执行完整的流程。该工具允许创建配方（从简单蚀刻到复杂模式）,以便重复使用,从而提高效率。这些特点,加上能够精确蚀刻和粉刷各种半导体材料,使PV-34成为满足先进半导体制造需求的经济高效且可靠的选择。