二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224049 待售

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9224049
优质的: 2007
Single wafer etcher (4) Chambers 2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一个高度先进的盒子asher/etcher,专为各种半导体加工和制造任务而设计。SEZ DV-34能够处理和蚀刻基于硅和III-V的设备,因此非常适合广泛的工业用途。LAM RESEARCH DV-34具有独特的特点和结构,是一种高效、可靠的蚀刻器。它以石英管的垂直构型构造,减少了材料的使用量,增加了装置的产量。石英管由多个大容量气体燃烧器加热,并由各种传感器采样。这些传感器测量室内环境的温度和其他特性,以确保最佳的灰化和蚀刻条件。内部腔室还衬有导电材料,以确保整个腔室的温度分布均匀。这也防止了不必要的电弧,提高了蚀刻工艺的效率和准确性。DV-34还具有高压气体控制系统,该系统调节氮气和氧气收集器的流动,以便在整个处理过程中进行精确的过程控制。SEZ/LAM RESEARCH DV-34配备了一系列集成的安全机制,包括用于冷测试的预室、防反射涂层、用于防止除气的三壁结构以及在紧急情况下将其关闭的压力传感器。SEZ DV-34还允许用户自定义和编程过程参数以获得最精确的结果。它具有强大的控制系统,具有用户友好的界面和易于使用的软件包,允许您修改过程参数,包括循环温度、压力和气流。它还与各种行业标准传感器、显示器、计时器、软件等兼容,以实现完整的过程控制。总体而言,LAM RESEARCH DV-34是一款功能强大且可靠的盒装asher/蚀刻机,配备最新技术。它效率高,提供精确和可重复的结果。其各种安全特性和强大的控制系统使得它成为任何涉及半导体制造的工业操作的理想选择。
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