二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9224050 待售

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 9224050
晶圆大小: 12"
Single wafer etcher, 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34是由SEZ为满足半导体行业的高需求而设计制造的先进蚀刻器和asher。它是一个蚀刻/灰分平台,支持多个流程模块,使用户能够将技术与应用程序需求相结合。工艺模块包括深硅蚀刻、硅选择性蚀刻、SiGe选择性蚀刻、溅射、扩散、氧化物蚀刻和金属蚀刻。SEZ DV-34是一种智能工具,具有最先进的过程控制技术,包括运动控制、过程分析技术和过程自动化。它包含通用平台、用于诊断的网络连接、可编程过程参数设置点、可定制的配方以及温度控制的硬件组件,以确保准确和可重复的材料处理。LAM RESEARCH DV-34具有双室设计,允许用户配置工具以满足其特定的产品制造需求。进阶的数位真空控制(DVC),是用者能够精确控制腔室压力、温度、製程时间等参数的技术。DV-34的功能还包括集成晶圆处理,允许最大程度的灵活性。LAM RESEARCH/LAM SEZ/LAM RESEARCH DV-34非常适合在高通量环境中使用,提供更快的周期时间和更高的收益率。其广泛的工艺能力使其对从研发到生产的广泛用户具有吸引力。SEZ DV-34是IC和MEMS制造商的完美解决方桉。它是一个功能强大的蚀刻/灰烬平台,旨在为用户提供最大的灵活性和过程控制。其先进的特性、可靠的工艺结果和可靠的设计提供了以最高产量和最高精度交付产品所需的可靠性能。
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