二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种精密的粉碎器/蚀刻器,旨在使用自动化的两温输送设备快速可靠地处理基板。该设备的全面设计为应用提供了标准性能,包括但不限于,通过蚀刻、TMR通过蚀刻、双大马士革、栅极蚀刻、硬掩模蚀刻、层间介电去除、晶圆背面蚀刻和各向同性蚀刻。该机组采用双温输送系统，提高了加工可靠性和吞吐量。两种温度流可独立编程,以实现理想的蚀刻或清洁配方。这是通过使用一个独特的热交换器来完成的，上层和下层都是这样。SEZ DV-34 蚀刻/asher单元还包括洪水冷却机。冷却工具旨在以更快的速度均匀冷却基板表面。这样可以实现更高精度的蚀刻和清洁配方,以及提高产量。LAM RESEARCH DV-34配备了工艺气体管理资产。该模型允许精确调节工艺气体，如氧气、氯气和其他腐蚀性气体。此设备有助于简化配方,并提供更好的工艺纯度和控制。该系统的腔室改造既快又容易，因为热墙设计允许快速改造而不牺牲腔室的完整性。DV-34的这一特点还减少了改造费用。该领域的工艺技术人员也很容易用该腔室进行等离子诊断和工艺开发。此外,SEZ/LAM RESEARCH DV-34由一系列集成控制器和接口提供支持。这包括全方位的控制选项，包括用户友好的图形用户界面、配方编辑器和高级统计过程控制功能。这些功能有助于提高产量和简化流程,旨在提高流程稳定性以提高刀具生产率。最后，这一单元通过选择工艺冲洗和清洗配方，实现了良好的长期过程稳定性。清洗配方有助于减少污染，提高蚀刻工艺的效率。这为操作员提供了额外的保证，即蚀刻工艺按照设计工作。总之,经济特区DV-34是一种通用、高效、可靠的蚀刻机.其双温输送和水冷系统保证了基板的均匀性和准确性.此外，其智能软件和强大的过程气体管理确保了良好的长期过程稳定性，以获得最佳产量。