二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9351032 待售
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SEZ/LAM RESEARCH DV-34是一种为生产先进半导体器件而设计的蚀刻器。该设备具有强大的离子束沉积源和可编程的位置精度,以确保过程的一致性和均匀性。它还通过动态调整工艺参数来提供卓越的吞吐量、高密度的等离子体蚀刻和低粒子生成。SEZ DV-34是一个完全自动化的系统,它使用直流、射频和热过程来提供对潜在复杂图样的快速、高分辨率蚀刻。采用先进的光束聚焦沉积、高能离子束蚀刻和精确的位置控制,实现全晶圆均匀性。其独特的体系结构具有集成的控制和自动化功能,可最大程度地减少停机时间,同时满足生产需求。该单元还为半导体器件的生产提供了广泛的功能和优势。其现成的基材配方以最短的安装时间提供可靠的蚀刻效果。它的模块化设计允许跨多种材料灵活地开发和实施过程。它还提供了出色的均匀性和晶圆配准能力。该机也效率高、性价比高,使用的流利度比其他型号略高。最后,LAM RESEARCH DV-34旨在最大限度地提高工具的可用性和鲁棒性,并具有行之有效的性能、缩短的停机时间和优化的生产效率。它还支持多种安全特性,包括针对电弧和放电电压的防护以及内置的离子换算功能,以减少粒子产生。为了确保可靠和一致的生产性能,该资产还具有快速的故障检测和恢复功能。
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