二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 DS #9240169 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS蚀刻器是一种最先进的预溷合低压直接下游等离子蚀刻设备。此蚀刻器专为需要超高蚀刻质量和均匀性的应用而设计。SEZ DV-38 DS是各种材料类型的理想蚀刻系统，包括复合半导体材料、氮化钛、金刚石和氮化物硬面膜。该装置采用了强大的下游等离子体加工机，以确保卓越的蚀刻速率。LAM RESEARCH DV-38 DS工具使用感应耦合等离子体（ICP）源进行等离子体生成。这类等离子体源提供了卓越的重复性、长寿命和高水平的压力控制。压力可调节，以优化蚀刻速率和均匀性，同时最大限度地减少污染或"记忆效应"。双等离子体源配置进一步提高了性能，消除了对消耗品定期补充的需求。DV-38 DS配备了用于低压控制的精密质量流量控制器和准确的工作气体量。该资产还具有小喷嘴技术的可变气体喷射，具有高度均匀的气流和更精确的离子轰击控制。这提供了更好的特征轮廓、更高的清晰度、改进的各向同性蚀刻速率和更好的选择性。为了增强蚀刻均匀性和更高效的材料去除,SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS模型还具有"热边"特征。此功能有助于增强蚀刻均匀性,并使晶片边缘的功率级别更加一致。SEZ DV-38 DS设备是为大批量生产而设计的，同时考虑到了彻底的过程控制。它具有全自动的装卸站和高质量的真空系统，以确保恒定、清洁的条件。计算机控制的界面允许从单个位置访问所有主要进程参数。此外,还可以对设备进行可选的软件修改,以进一步提高蚀刻质量和可重复性。对于那些需要高精度结果的人来说，这种先进的蚀刻器是一种宝贵的资产。LAM RESEARCH DV-38 DS机器提供了卓越的蚀刻速率、均匀性和可重复性，使制造商和研究人员能够放心地加工材料。