二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #293614772 待售
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ID: 293614772
Single wet etcher
Load port
Robot
EEF
CDA N2 Flow controller
Motor controller
CDS
Chamber
PC
Missing parts:
Qty / Part number / Make / Model / Description
(1) / 4002-5174-01 / BROOKS AUTOMATİON / - / Door cover
(1) / 2022937-00 / - / V115 / Valve, Way 3/2, UPM 3/4
(1) / 2300495-00 / - / V10-A / Valve, SG4-2C-6F
(1) / 2300495-00 / - / V104-B / Valve, SG4-2C-6F
(2) / 2308694-00 / - / RMB-10V2-SynqNet-4-24 V / 2-Phase
(2) / 2301159-00 / - / Combo board / Connection boards for MEI-RMB
(6) / 2016528-00 / - / - / Power amplifiers, DC Micro servomotor 4A
(2) / 2022357-00 / TELEM / ZBE / Actuator contacts
(1) / 2022356-00 / TELEM / ZB5 / Actuator rotary switch blue
(1) / 2022383-00 / TELEM / ZB5 / Actuator coupling, (3) Contacts
(2) / 2022388-00 / TELEM / ZBE / Actuator contacts
(1) / 2307202-00 / KVM / CAT5 / Extender, PS2 K434-1S
(1) / 2363669-00 / - / - / Keyboard, gender changer, With adapter
(1) / 2315418-00 / FLARETEK / 3 / Rotary pump
(12) / 2008086-01 / - / 300 / Excentric pin chucks
(1) / 853-308985-202 / - / - / NC-Chuck, 300/300/300-BF V1.2
(1) / 2316897-00 / - / - / Cables CF10, 8x0.25mm, (2) SH IGUS Chainflexes, DI Dispenser cable
(1) / 2315875-01 / - / - / DV Belt cover cast sledge drive unit, chuck belt cover.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38是一种用于半导体和其他各种工业材料的最先进的蚀刻器/灰化器。它是一种全自动湿蚀刻机，设计和建造提供卓越的腐蚀和等离子体蚀刻工艺。SEZ DV-38可以使用多种材料，包括不锈钢、铝和钛合金。它旨在提供最大的基板蚀刻速率，高精度的基板间距，以及优越的蚀刻质量。LAM RESEARCH DV-38配备了先进的功能，如可使用各种工艺气体和真空水平的电子室，以及用于高精度、高纵横比蚀刻工艺的P室。DV-38还配备了等离子体源和高功率激光器，可进行深层基材蚀刻。SEZ/LAM RESEARCH DV-38先进的数字控制和传感器使它能够提供可靠、可重复的结果。它具有广泛的工艺参数，使其能够适应不同的蚀刻应用。SEZ DV-38可用于水性和无水蚀刻工艺。此外，LAM RESEARCH DV-38采用闭环系统提供增强的控制，该系统根据被蚀刻材料自动调整蚀刻参数。这种闭环系统减少了对手动输入的需求，提供了人工蚀刻过程无法获得的精度和准确性。DV-38是一个强大可靠的蚀刻机，提供最大的基材蚀刻速率，高精度，和优越的蚀刻质量。其使用多种材料的能力和闭环系统使其成为许多蚀刻应用的理想之选。其先进的数字控制和传感器使其能够提供可靠和可重复的结果，确保其用户获得最优质的蚀刻结果。
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