二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9040754 待售
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已售出
ID: 9040754
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Wet station, 12"
Frontside handling
(8) Chambers
Number of chemistry: 1
Operator cassette loading
Overhead transport system (OHT)
Through the wall
Front machine section:
Robot & controller
Main PC condition
Hard drive for IC/TC
Front FFU
Buffer station
(3) Load ports
Load port access: Light curtain
Asyst ISO port
Carrier ID reader
Asyst Advan-Tag
E 84 Parallel I/O
Front handling system: ECO end-effector, ceramic
Rear machine section:
ECO
FFU
Control cabinet
Left process section
(3) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSL: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Right process section
(3) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors
(1) PSR: Process chamber, Chuck, Spindle unit, Dispenser motors, Regulators, MFCs, Pump valve and chemistry lines
Components included
ATMI
AC Rack
DVR
Exhaust line kit
IPA module
Liquid Chemistry cabinet 1:
Media 1 supply: Filtration system and sampling port
Buffer option A1: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B1: No medium
Paddle wheel
DI water
Inline cooler for temperature control
Flowmeter
Liquid Chemistry cabinet 2:
Media 2 supply: Medium / Temperature
Buffer option A2: Medium, PZ10 spiking pump
Buffer option B2: No medium
Paddle wheel
Horiba CM-210 chemical analyzer: (2) Process loop, (2) Preparation loop
Flowmeter for DI water
Gas supply
CO2 Injection: No
Overall features:
White light
Transparent windows
Transformer 208V/400V CE
Frame
Leak sensor box
Submodules:
Process chamber display
Digital video recording
Currently de-installed
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS是一种蚀刻器/asher设备,专门设计用于蚀刻和研磨各种基材上的光致抗蚀剂和其他残留物。SEZ DV-38DS系统提供快速、高精度的蚀刻和灰化,具有低温过程和短处理时间。LAM RESEARCH DV-38DS单元使用化学反应离子等最新半导体技术进行蚀刻，并使用灯和激光源进行灰化。它能够处理范围广泛的晶圆大小,从4"到12"。该机设计为为包括硅、氧化物、金属、陶瓷在内的各种基板提供均匀、优质的覆盖。DV-38DS工具由两部分组成：工具本身和关联的控制资产。该工具是一种小巧、全自动的模型，旨在便于使用和高效操作。它包括一个用于装卸晶片的高性能进纸器、一个用于蚀刻光刻剂等残留物的高性能蚀刻室以及一个用于熔合层的灰化室。蚀刻室和灰化室均配有先进的热控制系统，以确保最佳处理效果和均匀覆盖。该控制设备旨在为用户提供对SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS系统的精确控制。该单元配备了直观的用户界面，允许用户在点击几下就对自己的进程进行更改。用户界面使用户能够设置计算机并实时检查刀具的状态。此外,还可以将控制资产链接到远程计算机,从而方便地远程访问模型的诊断数据。SEZ DV-38DS设备是为低容量和高容量操作而设计的。其先进的控制系统可以很容易地修改，以适应各种处理任务。此外，该机组还设计了各种安全功能，如紧急关闭，以确保其操作员和设备的安全。总体而言，LAM RESEARCH DV-38DS是一种先进的蚀刻机/asher机，专门设计用于蚀刻和研磨各种基材上的光致抗蚀剂和其他残留物。其先进的控制工具允许精确的控制，直观的用户界面使其易于设置和操作。资产的安全特性保证其操作员和设备的安全，其高性能进纸器使晶片的有效装卸成为DV-38DS各种蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。
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