二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9054505 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS是一种双波、高速、多室蚀刻器/asher,可提供卓越、经济高效的蚀刻/灰化性能。SEZ DV-38DS系列被指定为先进的材料加工蚀刻器/收集器,非常适合生产和研发实验室。LAM RESEARCH DV-38DS系列利用定向垂直和切向蚀刻/灰度波,在每批中提供高度统一的蚀刻/灰度操作过程。运动尖端热管理和先进的冷却技术在过程中最大的可重复性和均匀性。DV-38DS系列有两种配置，具有一个或两个腔室系统。它允许在每个腔室中独立蚀刻/粉刷具有多种材料的零件，确保方便、连续的操作。高速操作和优化的腔室设计提高了工艺吞吐量，缩短了循环时间。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS具有高级控制,可对金属、氧化物和聚合物等材料进行精确蚀刻/灰化。这包括控制温度、气体溷合、压力和腔室尺寸的能力，以达到最大精度和可重复性。经济特区DV-38DS包括全面的过程监测系统，以确保一致的过程结果。LAM RESEARCH DV-38DS系列还包括用于高密度等离子体（HDP）蚀刻/灰化过程的射频源。HDP蚀刻/灰化可实现高质量的表面饰面和高蚀刻/灰化率。DV-38DS系列还提供了在HDP过程中溷合沉积气体的能力，允许多组分沉积。SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS系列设计为用户友好,具有直观的操作员界面,并以图形方式显示过程设置和结果,以便于监控。该系列还具有广泛的诊断诊断功能,包括过程历史记录、报警和蚀刻/灰化配置文件。SEZ DV-38DS Etcher/Asher系列是高级蚀刻/灰化解决方桉的终极产品。易于操作,LAM RESEARCH DV-38DS为生产和研发实验室提供卓越的蚀刻/灰化性能。先进的控制和过程监控使其非常适合需要按需、可重复的准确性和可靠性的用户。