二手 SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266 待售
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ID: 9022266
优质的: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F是为半导体行业设计的高级高性能蚀刻器/asher。它是一个完全集成的asher，在同一容器中提供化学和等离子体处理能力。这使得它可以作为一个蚀刻器，一个asher，或两者适用于广泛的应用。它是一种具有快速循环时间、精密沉积控制和均匀蚀刻特征的高端蚀刻器/蚀刻器。它利用基于臭氧的等离子体和高能离子轰击，以极高的精度精确蚀刻目标材料。它适用于复杂的3 D几何形状和非常薄的薄膜。经济特区DV-38F的独特设计具有模块化、多角色的概念,允许每个模块单独作为独立单元使用,或连接到复杂配置中的其他模块,以用于更专业的应用程序。凭借其强大和多用途的特点，它能够处理多种材料，包括金属氧化物、硅、复合氮化物和多晶硅。蚀刻器/asher与多种材料和化学品兼容，使其成为加工金属氧化物、复合氮化物、钨和大型器件制造多晶硅的理想工具。机载交付系统允许这些材料在同一个过程周期中以一个步骤进一步加工，提供更大的生产吞吐量。蚀刻器/灰化器最多有四个前室门，可以打开或关闭，以防止加工过程中的污染。此外,它还具有广泛的安全功能,以确保不会对人员或正在处理的设备造成伤害。LAM RESEARCH DV-38F是一款顶端蚀刻器/asher,能够在保持较大的生产吞吐量的同时产生优异的效果。凭借其先进的精密控制和高效的工艺周期，它是那些寻找高级蚀刻器/asher的人的理想工具。
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