二手 SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754189 待售

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME是一种专门为半导体器件制造而设计的蚀刻器/asher。它是一种批量加工设备，为用户提供了非常高吞吐量的可靠、可重复、精确的基板蚀刻或粉刷。系统配备了一个新的强大直观的Windows操作单元，让用户能够轻松高效地编程批处理参数。机器可以处理基板支架中任意数量的基板，允许用户在工具内编程自己想要的批量大小。它还具有用于装载和卸载基板的自动升降机以及用于提高吞吐量至0.2微米线宽的内部真空卡盘。它还配备了嵌入式可编程逻辑控制器（PLC），允许用户对单个蚀刻/灰分进程进行编程和数据记录。SEZ DV PRIME凭借其专有的点滴点播和脉冲发射激光放电源,具有高性能蚀刻功能。放电装在一个定制的室内，为用户提供无污染、高精度的蚀刻/灰烬工艺。该腔室还配备了先进的排气资产，允许快速均匀的气体流过整个腔室，提供一致和可靠的蚀刻或灰化结果。在安全方面，蚀刻器/asher配备了乘员保护盖互锁模型、压力泄漏传感器、气体安全关闭控制、温度报警设备等多种安全系统。这样可以确保系统符合最新的安全法规和标准,使其成为用户安全的蚀刻和灰化装置。总体而言，LAM RESEARCH DV PRIME是一种专门为半导体器件制造而设计的高级蚀刻器/asher。该机设计用于高通量基板的精确、可靠、可重复的蚀刻/灰化。它配备了一个新的Windows操作工具，并拥有多个安全系统，以确保安全和合规的操作。